半導体業界

半導体を製造する際の
リスクとなるほんの微小な
異物やゴミも、
自動化することで
人手を介さずにクリーンな
状態での製造が可能です。

半導体工場 製造の一例製造の流れ

前工程

01

ウエハー
洗浄

02

成膜

03

フォトレジスト
塗布

04

露光

05

現像
(デベロッパ)

06

エッチング

07

レジスト
剥離洗浄

08

プローブ検査

後工程

09

ダイシング

搬送

10

マウンティング

搬送

11

ワイヤー
ボンディング

搬送

12

プローブ検査

搬送

13

モールド

圧着・加熱・冷却

搬送

14

トリム&
フォーム

15

マーキング
ラベル貼り

ラベル貼り

搬送

16

バーンイン
(温度電圧試験)

搬送

17

箱詰め

AMR